Îðèåíòàöèþ èëè ïîèñê çàäàííîé êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé ïëîñêîñòè ìîíîêðèñòàëëà è îïðåäåëåíèå ïîëîæåíèÿ ýòîé ïëîñêîñòè îòíîñèòåëüíî òîðöà ñëèòêà ïðîèçâîäÿò íà ñïåöèàëüíîì îáîðóäîâàíèè îïòè÷åñêèì èëè ðåíòãåíîâñêèì ìåòîäàìè.
Ðèñ. 8. Ôèêñàöèÿ îòðåçàííûõ Ðèñ. 9. Îïòè÷åñêèé ìåòîä îðèåíòàöèè
ïëàñòèí ñ ïîìîùüþ ìàñòèêè: ìîíîêðèñòàëëîâ:
1 - слиток, 2 - слой мастики, à - ñõåìà îðèåíòàöèè, б - световые фигуры
3 - круг АКВР , 4 - барабан на плоскостях (1 1 1) и (1 0 0);
1 - слиток ориентации (1 1 1), 2 -плос-
кость торца, 3 - ýêðàí
 îñíîâó îïòè÷åñêîãî ìåòîäà îðèåíòàöèè ìîíîêðèñòàëëîâ ïîëîæåíî ñâîéñòâî ïðîòðàâëåííûõ ïîâåðõíîñòåé îòðàæàòü ñâåòîâûå ëó÷è â ñòðîãî îïðåäåëåííîì íàïðàâëåíèè. Ïðè ýòîì îòðàæàþùàÿ ïëîñêîñòü âñåãäà ñîâïàäàåò ñ êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèìè ïëîñêîñòÿìè òèïà {111}. Îòêëîíåíèå òîðöà ñëèòêà îò êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé ïëîñêîñòè (111) ïðèâîäèò ê îòêëîíåíèþ îòðàæåííîãî ëó÷à íà ìàòîâîì ýêðàíå íà ðàññòîÿíèå l (ðèñ. 9, à), õàðàêòåðèçóþùååñÿ óãëîì ðà çîðèåíòàöèè òîðöà îò ïëîñêîñòè (111).
Îòðàæåííûé ëó÷ îáðàçóåò íà ýêðàíå ñâåòîâûå ôèãóðû, ôîðìà êîòîðûõ îïðåäåëÿåòñÿ êîíôèãóðàöèåé ÿìîê, âûòðàâëåííûõ íà òîðöå ñëèòêà ñåëåêòèâíûìè òðàâèòåëÿìè. Òèïè÷íîé ñâåòîâîé ôèãóðîé äëÿ ñëèòêà, âûðàùåííîãî â íàïðàâëåíèè [111], ÿâëÿåòñÿ òðåõëåïåñòêîâàÿ çâåçäà, à äëÿ ñëèòêà, âûðàùåííîãî â íàïðàâëåíèè [100],-÷åòûðåõëåïåñòêîâàÿ çâåçäà (ðèñ.9, á).
§ 6. Ôîðìèðîâàíèå ôàñîê íà êðîìêàõ ïëàñòèí
Ñíÿòèå ôàñîê ñ êðîìîê ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïðîèçâîäÿò äëÿ äîñòèæåíèÿ íåñêîëüêèõ öåëåé. Âî-ïåðâûõ, äëÿ óäàëåíèå ñêîëîâ íà îñòðûõ êðîìêàõ ïëàñòèí, âîçíèêàþùèõ ïðè ðåçêå è øëèôîâàíèè. Âî-âòîðûõ, äëÿ ïðåäîòâðàùåíèÿ âîçìîæíîãî îáðàçîâàíèÿ ñêîëîâ â ïðîöåññå ïðîâåäåíèÿ îïåðàöèé, íåïîñðåäñòâåííî ñâÿçàííûõ ñ ôîðìèðîâàíèåì ñòðóêòóð ïðèáîðîâ. Ñêîëû, êàê èçâåñòíî, ìîãóò ñëóæèòü èñòî÷íèêàìè ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ â ïëà ñòèíàõ ïðè ïðîâåäåíèè âûñîêîòåìïåðàòóðíûõ îáðàáîòîê è ëàæåí ÿâëÿòüñÿ ïðè÷èíîé ðàçðóøåíèÿ ïëàñòèí. Â-òðåòüèõ, äëÿ ïðåäîòâðàùåíèÿ îáðàçîâàíèÿ íà êðîìêàõ ïëàñòèí óòîëùåíèÿ ñëîåâ òåõíî ëîãè÷åñêèõ æèäêîñòåé (ôîòîðåçèñòîâ, ëàêîâ), êîòîðûå ïîñëå çàòâåðäåâàíèÿ íàðóøàþò ïëîñêîñòíîñòü ïîâåðõíîñòè. Òàêèå æå óòîëùåíèÿ íà êðîìêàõ ïëàñòèí âîçíèêàþò ýðè íàíåñåíèè íà èõ ïîâåðõíîñòü ñëîåâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ è äèýëåêòðèêîâ.
Ôîðìèðîâàíèå ôàñîê ïðîèçâîäÿò ìåõàíè÷åñêèì ñïîñîáîì (øëèôîâàíèåì è ïîëèðîâàíèåì), õèìè÷åñêèì èëè ïëàçìîõèìè÷åñêèì òðàâëåíèåì. Ïëàçìîõèìè÷åñêîå òðàâëåíèå ôàñîê îñíîâàíî íà òîì, ÷òî îñòðûå êðîìêè â ïëàçìå ðàñïûëÿþòñÿ ñ áîëüøåé ñêîðîñòüþ, ÷åì äðóãèå îáëàñòè ïëàñòèí, ââèäó òîãî, ÷òî íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ íà îñòðûõ êðîìêàõ ñóùåñòâåííî âûøå. Ýòèì ñïîñîáîì ìîæíî ïîëó÷èòü ôàñêà ñ ðàäèóñîì çàêðóãëåíèÿ íå áîëåå 50-100 ìêì. Õèìè÷åñêîå òðàâëåíèå îáåñïå÷èâàåò áîëüøèé ðàäèóñ ôàñîê, îäíàêî è õèìè÷åñêîå, è ïëàçìîõèìè÷åñêîå òðàâëåíèå íå ïîçâîëÿþò èçãîòîâëÿòü ôàñêè ðàçëè÷íîãî ïðîôèëÿ. Êðîìå òîãî, òðàâëåíèå ÿâëÿåòñÿ ïëîõî óïðàâëÿåìûì è êîíòðîëèðóåìûì ïðîöåññîì, ÷òî îãðàíè÷èâàåò åãî øèðîêîå ïðîìûøëåííîå ïðèìåíåíèå.
 ïðîèçâîäñòâå ÷àùå âñåãî èñïîëüçóþò ñïîñîá ôîðìèðîâàíèÿ ôàñîê ïðîôèëüíûì àëìàçíûì êðóãîì. Ñõåìà îáðàáîòêè ïëàñòèíû 1 àëìàçíûì êðóãîì 2 ïîêàçàíà íà ðèñ.. 10. Ýòèì ñïîñîáîì ìîãóò áûòü èçãîòîâëåíû ôàñêè ðàçíîîáðàçíîé ôîðìû (ðèñ. 11, à-â). Íà ïðàêòèêå ÷àùå âñåãî ôîðìèðóþò ôàñêè, ôîðìà êîòîðûõ ïîêàçàíà íà ðèñ. 11, à.  ïðîöåññå îáðàáîòêè ïëàñòèíà çàêðåïëÿåòñÿ íà âàêóóìíîì ñòîëèêå ñòàíêà è âðàùàåòñÿ âîêðóã ñâîåé îñè. ×àñòîòà âðàùåíèÿ ïëàñòèíû 10-20 îá/ìèí, àëìàçíîãî êðóãà 4000-10000 îá/ìèí. Àëìàçíûé êðóã ïðèæèìàåòñÿ ê ïëàñòèíå ñ óñèëèåì 0,4-0,7 Í. Îñü âðàùåíèÿ êðóãà ïåðåìåùàåòñÿ îòíîñèòåëüíî îñè âðàùåíèÿ âàêóóìíîãî ñòîëèêà òàê, ÷òîáû îáðàáîòêå
Рис. 10. Схема Рис. 11
формирования фаски про- Варианты исполнения фаски:
фильным алмазным кругом: а - с закругленнными кромками;
1-полупроводниковая пластина á - çàêðóãëåííîé ïåðåôåðèåé
2 - алмазный круг. в - со скошенными кромками.
íèêîâûå ñîåäèíåíèÿ øëèôóþò ïðè äàâëåíèè â 1,5-2,5 ðàçà ìåíüøåì, ÷åì êðåìíèé.  ïðîöåññå øëèôîâàíèÿ ïëàñòèíû ïåðèîäè÷åñêèïîäâåðãàþò âèçóàëüíîìó îñìîòðó è êîíòðîëþ ïî òîëùèíå.
Íàðÿäó ñ äâóñòîðîííèì øëèôîâàíèåì øèðîêîå ðàñïðåñòðàíåíèå ïîëó÷èëî îäíîñòîðîííåå øëèôîâàíèå ïëàñòèí, ñõåìà êîòîðîãî ïðèâåäåíà íà ðèñ. 12. Ïëàñòèíû 2 ïîìåùàþò , â ñåïàðàòîð 3 è ïðèæèìàþò ãðóçîì 4 ê øëèôîâàëüíèêó 1.
Ðèñ. 12 Ñõåìà îäíîñòîðîííåãî
øëèôîâàíèÿ ñâÿçàííûì àáðàçèâîì:
1 - øëèôîâàëüùèê, 2- пластина , 3 -ñåïàòàòîð,
4 - груз
Íà øëíôîâàëüíèê ïîäàþò àáðàçèâíóþ ñóñïåíçèþ. Îáðàáîòêà, ïðîèñõîäèò òàê æå, êàê è ïðè äâóñòîðîííåì øëèôîâàíèè. Òàêèì ñïîñîáîì âîçìîæíî øëèôîâàòü ïëàñòèíû ðàçíîé òîëùèíû. Îäíàêî ìåæäó ïëàñòèíîé è ãðóçîì ìîæåò ïîïàäàòü èíîðîäíîå âêëþ÷åíèå (àáðàçèâ, ÷àñòèöû ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ìàòåðèàëà, ìåòàëëè÷åñêàÿ ñòðóæêà è ò. ï.), óõóäøàþùåå òî÷íîñòü îáðàáîòêè. Ïîýòîìó - ÷àùå ïëàñòèíû ïðè îäíîñòîðîííåì øëèôîâàíèè êðåïÿò ê øëèôîâàëüíîé ãîëîâêå.
Пðè øëèôîâàíèè èñïîëüçóþò òðè ñïîñîáà êðåïëåíèÿ ïëàñòèí: ïðèêëåèâàíèåì, îïòè÷åñêèì êîíòàêòîì è âàêóóìíîé ôèêñàöèåé. Îñíîâíûìè òðåáîâàíèÿìè êðåïëåíèÿ ïëàñòèí ÿâëÿþòñÿ ñòðîãàÿ ïàðàëëåëüíîñòü áàçîâîé ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí ïîâåðõíîñòè øëèôîâàëüíîé ãîëîâêè, à òàêæå íàäåæíîñòü êðåïëåíèÿ.
§ 7. Øëèôîâàíèå ïëàñòèí ñâîáîäíûì è ñâÿçàííûì àáðàçèâîì
Îñíîâíûì íàçíà÷åíèåì øëèôîâàíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ÿâëÿåòñÿ èñïðàâëåíèå ïîãðåøíîñòåé èõ ãåîìåòðè÷åñêîé ôîðìû ïîñëå ðåçêè Íåñìîòðÿ íàòå ÷òî ãëóáèíà íàðóøåííîãî ñëîÿ ïîñëå øëèôîâàíèÿ ïðèìåðíî òàêàÿ æå, êàê è ïîñëå ðåçêè,ñëåäóåò óêàçàòü íà áîëüøóþ ðàâíîìåðíîñòü ãëóáèíû íàðóøåíèé, âíîñèìûõ øëèôîâàíèåì.
Ðèñ. 13. Ñõåìà äâóñòîðîííåãî øëèôîâàíèÿ
ñâîáîäíûì àáðàçèâîì:
1 - система охлождения, 2,7 - шлифовальники,
3,6 - внутренняя и наружная шестерни,
4 - сепараторы , 5 - пластины
Ïî õàðàêòåðó âîçäåéñòâèÿ àáðàçèâà íà ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïëàñòèíû ðàçëè÷àþò øëèôîâàíèå ñâîáîäíûì è ñâÿçàííûì àáðàçèâîì.  çàâèñèìîñòè îò çåðíèñòîñòè èñïîëüçóåìîãî àáðàçèâà, ðåæèìîâ îáðàáîòêè è êà÷åñòâà ïîëó÷åííîé ïîâåðõíîñòè ðàçëè÷àþò ïðåäâàðèòåëüíîå (÷åðíîâîå) è îêîí÷àòåëüíîå (÷èñòîâîå) øëèôîâàíèå.
Øëèôîâàíèå ñâîáîäíûì àáðàçèâîì îáëàäàåò ðÿäîì ïðåèìóùåñòâ, êîòîðûå îáóñëîâèëè øèðîêîå ïðîìûøëåííîå èñïîëüçîâàíèå ïðè èçãîòîâëåíèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí Îáðàáîòàíèêå ïëàñòèíû íå èìåþò íà ïîâåðõíîñòè çàìåòíûõ ñëåäîâ íàïðàâëåííîãî äâèæåíèÿ àáðàçèâà, èõ ñòîðîíû îòëè÷àþòñÿ ìàòîâûì îäíîðîäíûì áëåñêîì. Âîçìîæíîñòü ñàìîóñòàíàâëèâàíèÿ øëèôîâàëüíèêà è îáðàáàòûâàåìûõ ïëàñòèí îáåñïå÷èâàåò óëó÷øåíèå ãåîìåòðèè êàê ñàìèõ ïëàñòèí, òàê è øëèôîâàëüíèêà. Ïðè ñâîáîäíîé óêëàäêå ïëàñòèí (áåç æåñòêîãî êðåïëåíèÿ) îòñóòñòâóþò íàïðÿæåíèÿ â ïëàñòèíàõ, ñíèæàåòñÿ âëèÿíèå ïîãðåøíîñòåé èçãîòîâëåíèÿ è âèáðàöèé ñòàíêà íà òî÷íîñòü îáðàáîòêè.
Ñõåìà äâóñòîðîííåãî øëèôîâàíèÿ ïëàñòèí ñâîáîäíûì àáðàçèâîì ïîêàçàíà íà ðèñ. 13.Ïëàñòèíû 5 ïîìåùàþò â ñåïàðàòîðû 4, âûïîëíåííûå â âèäå ïëàñòèí ñ íàðóæíûì çóá÷àòûì âåíöîì. Çóáüÿ ñåïàðàòîðîâ âõîäÿò â çàöåïëåíèå ñ çóá÷àòûìè øåñòåðíÿìè 3 è 6. Âíóòðåííÿÿ øåñòåðíÿ 3 èìååò íàðóæíûé çóá÷àòûé âåíåö, à âíåøíÿÿ øåñòåðíÿ 6-âíóòðåííèé. Øåñòåðíè 3 è 6 ïðèâîäÿòñÿ âî âðàùåíèå è ÷åðåç çóá÷àòûå çàöåïëåíèÿ âðàùàþò ñåïàðàòîðû. Îäíîâðåìåííî ñåïàðàòîðû ïåðåìåùàþòñÿ âîêðóã îñè øëèôîâàëüíèêîâ 2, 7. Öåíòðû îòâåðñòèé â ñåïàðàòîðàõ íå ñîâïàäàþò ñ öåíòðàìè ñàìèõ ñåïàðàòîðîâ, ïîýòîìó ïðè èõ âðàùåíèè ïëàñòèíû ñîâåðøàþò äîïîëíèòåëüíîå äâèæåíèå âîêðóã öåíòðîâ ñåïàðàòîðîâ, ñïîñîáñòâóþùåå áîëåå ðàâíîìåðíîé îáðàáîòêå ïëàñòèí è ðàâíîìåðíîìó èçíîñó øëèôîâàëüíèêîâ. Íèæíèé øëèôîâàëüíèê 7 íåïîäâèæíî çàêðåïëåí íà ñòàíèíå ñòàíêà, à âåðõíèé øëèôîâàëüíèê 2 ñâîáîäíî óñòàíàâëèâàåòñÿ íà îáðàáàòûâàåìûõ ïëàñòèíàõ.
Ðàáî÷åå äàâëåíèå íà ïëàñòèíû ñîçäàåòñÿ ãèäðàâëè÷åñêèìè óñòðîéñòâàìè è ïåðåäàåòñÿ âåðõíèì øëèôîâàëüíèêîì. Ðàáî÷åå äàâëåíèå ïëàâíî ðåãóëèðóåòñÿ, ÷òî ïîçâîëÿåò îñóùåñòâëÿòü
Ðèñ. 14. Ôîðìà èçíîñà øëèôîâàëüíèêà â âèäå âîãíóòîñòè (à) èëè âûïóêëñ- ñòè (á) è åå âëèÿíèå íà ôîðìîîáðàçîâàíèå ïëàñòèí
íåïðåðûâíûé ïåðåõîä îò ÷åðíîâîãî øëèôîâàíèÿ ê ÷èñòîâîìó. ×àñòîòà âðàùåíèÿ øåñòåðåí òàêæå ïëàâíî ðåãóëèðóåòñÿ, èñêëþ÷àÿ òîë÷êè è óäàðû â ìîìåíòû çàïóñêà è îñòàíîâêè ñòàíêà, ÷òî âàæíî ïðè îáðàáîòêå ïîëóïðîâîäíèêîâ. Øëèôîâàëüíèêè ñíàáæåíû ñèñòåìàìè îõëàæäåíèÿ è êîíòðîëÿ òåìïåðàòóðû, ïîääåðæèâàþùèìè ñòàáèëüíûå óñëîâèÿ îáðàáîòêè. Ïîñòîÿíñòâî òåìïåðàòóðû â çîíå øëèôîâàíèÿ èñêëþ÷àåò íåæåëàòåëüíûå òåðìè÷åñêèå äåôîðìàöèè øëèôîâàëüíèêîâ, êîòîðûå ìîãóò ñíèçèòü òî÷íîñòü îáðàáîòêè, è ïîääåðæèâàåò îäèíàêîâóþ âÿçêîñòü àáðàçèâíîé ñóñïåíçèè âî âðåìåíè, ÷òî âàæíî äëÿ ïîääåðæàíèÿ ïîñòîÿííîé ñêîðîñòè îáðàáîòêè.
§ 8. Ñïîñîáû äîâîäêè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïîëèðîâàíèåì
Ïîëèðîâàíèå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïðîèçâîäÿò äëÿ óäàëåíèÿ ïðèïîâåðõíîñòíûõ ñòðóêòóðíî-äåôåêòíûõ ñëîåâ, îáðàçîâàâøèõñÿ ïðè ðåçêå è øëèôîâàíèè. Åñëè ïîëèðîâàíèå îâîäà? à ïîñëå õèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ, òî îíî èñïðàâëÿåò äåôåêòû ãåîìåòðè÷åñêîé ôîðìû ïëàñòèí, âîçíèêàþùèå èç-çà íåðàâíîìåðíîñòè òðàâëåíèÿ. Ïî õàðàêòåðó ñúåìà ìàòåðèàëà ðàçëè÷àþò ìåõàíè÷åñêîå, õèìè÷åñêîå è õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå. ;
Ìåõàíè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå îñóùåñòâëÿþò ñðåçàíèåì ìèêðîñêîïè÷åñêèõ ÷àñòèö â ðåçóëüòàòå âîçäåéñòâèÿ àáðàçèâíûõ, çåðåí íà îáðàáàòûâàåìóþ ïîâåðõíîñòü.  êà÷åñòâå àáðàçèâà èñïîëüçóþò ïîðîøêè ñèíòåòè÷åñêèõ è ïðèðîäíûõ àëìàçîâ, îêñèäîâ õðîìà, öåðèÿ è äð.
Õ è ì è ÷ å ñ ê î å ï î ë è ð î â à í è å îñóùåñòâëÿþò ïîãðóæåíèåì ïëàñòèí â ïîëèðóþùèé òðàâèòåëü. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ áîëüøåé ðàâíîìåðíîñòè ñúåìà ìàòåðèàëà ñî âñåé ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí êàññåòû ñ ïëàñòèíàìè ïðèâîäÿòñÿ âî âðàùåíèå, â ðåçóëüòàòå ÷åãî ê íèì ïîñòîÿííî ïîäâîäèòñÿ ñâåæèé òðàâèòåëü (ðèñ. 15). Òðàâèòåëè, èñïîëüçóåìûå äëÿ ïîëèðîâàíèÿ ïëàñòèí, ìíîãîîáðàçíû ïî ñîñòàâó. Êðåìíèåâûå ïëàñòèíû òðàâÿò ïðåèìóùåñòâåííî â ñìåñÿõ àçîòíîé, ïëàâèêîâîé è óêñóñíîé êèñëîò, ïðèìåíÿÿ ðàçëè÷íûå ïðîïîðöèè êîìïîíåíòîâ.  ýòè ñìåñè ìîãóò äîáàâëÿòüñÿ âåùåñòâà, ñòàáèëèçèðóþùèå ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ èëè æå êàòàëèçèðóþùèå åãî ðåàêöèè. Ñîåäèíåíèÿ À3 Â5 òðàâÿò ÷àùå âñåãî â âîäíûõ ðàñòâîðàõ ïåðåêèñè âîäîðîäà è îäíîé èç êèñëîò, íàïðèìåð ñåðíîé, ïëàâèêîâîé, áðîìèñòîâîäîðîäíîé è äð. Êðîìå òîãî, õèìè÷åñêîå ïîëèðîâàíèå ìîæíî îñóùåñòâëÿòü â ãàçîâîé ñðåäå.
Рис. 15 Химическое полирование пластин:
1- держатель, 2 - кассета, 3 - полупроводниковые
ïëàñòèíû , 4 -ванна с травителем
õ è ì è ê î - ì å õ à í è ÷ å ñ ê î å ï î ë è ð î â à í è å îñóùåñòâëÿþò â ðåçóëüòàòå ñîâìåñòíîãî âîçäåéñòâèÿ õèìè÷åñêèõ è ìåõàíè÷êñêèõ ôàêòîðîâ.
Íàèáîëüøåå ðàñïðîñòðàíåíèå èç ðàçíîîáðàçíûõ ìåòîäîâ ìåõàíè÷åñêîãî ïîëèðîâàíèÿ ïîëó÷èëî ïîëèðîâàíèå àëìàçíèìè ïîðîøêàìè, êîòîðîå ïðîèçâîäÿò ñóñïåíçèÿìè èëè ïàñòàìè.  ìàçåîáðàçíîé îñíîâå ïàñòû ðàâíîìåðíî ðàñïðåäåëåí àëìàçíûé ïîðîøîê.  íåêîòîðûõ ñëó÷àÿõ â ïàñòó äîáàâëÿþò íàïîëíèòåëü.  çàâèñèìîñòè îò çåðíèñòîñòè àëìàçíîãî ïîðîøêà ïàñòó îêðàøèâàþò â ðàçëè÷íûå öâåòà.
§ 9. Î÷èñòêà ïîâåðõí îñòè ïîëóïðîâîäíèêîâ ûõ ïëàñòèí
Ïðîáëåìå î÷èñòêè ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïëàñòèí óäåëÿåòñÿ áîëüøîå âíèìàíèå.  ìèêðîýëåêòðîííûõ ïðèàðàõ è ñõåìàõ âûñîêîé ñòåïåíè èíòåãðàöèè, ãäå ðàçìåð îòäåëüíîãî ýëåìåíòà ìîæåò áûòü ìåíüøå ðàçìåðà ïûëèíêè, âëèÿíèå çàãðÿçêíèÿ îñîáåííî îïàñ íî. Ïðè èçãîòîâëåíèè áîëüøèõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì ñíèæåíèå ïëîòíîñòåé äåôåêòîâ, âûçâàííûõ çàãðÿçíåíèÿìè ñ 8 äî 2 ñì- 2 , ïîçâîë ÿåò ïîâûñèòü âûõîä ãîäíûõ èçäåëèé â 3-5 ðàç.
Ç àãðÿçíåíèÿ, ñîäåðæàùèåñÿ íà ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí, ìîæíî óñëî âíî ïîä ðàðàçäåëèòü íà ñëåäóþùèå îñíîâíûå ãðóïïû.
Ò â å ð ä û å â ê ë þ ÷ å í è ÿ - çàãðÿçíåíèÿ ÷àñòèöàìè êðåìíèÿ èëè ä ðó ãîãî ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ìàòåðèàëà, êâàðöà, àáðàçèâà, ï ûëüþ, ïî÷âîé, çîëîé, ïåïëîì è äð. Îíè ìîãóò ïîïàäàòü íà ïëàñòèíó â ïðîöåññå åå ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêè, à òàêæå èç àòìîñôåðû. Ê ýò îìó æå òèïó çàãðÿçíåíèé ìîæíî îòíåñòè îòäåëüíûå íàòóðàëü íûå è ñèíòåòè÷åñêèå âîëîêíà, ïîïàäàþùèå íà ïëàñòèíû ñ ïîëèðîâàëü íèê îâ, òåõíè÷åñêèõ òêàíåé è ñïåöîäåæäû.
Îðãàíè÷åñêèå ïëåíêè îáðàçóþòñÿ íà ïëàñòèíàõ ïðàêòè÷åñê è âñåõ ñòàäèÿõ èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ. Èõ îáðàçóþò ìàñëà îò ìàøèííîé îáðàáîòêè, îòïå÷àòêè ïàëüöåâ, æèðû, âîñêè è ñìîëû, èñ ïîë üçóåìûå äëÿ êðåïëåíèÿ ñëèòêîâ è ïëàñòèí ïðè îáðàáîòêå, îñ òàòêè ôîòîðåçèñòîâ, ïîâåðõíîñòíî-àêòèâíûå âåùåñòâà.
Èîííûå çàãðÿçíåíèÿ îáðàçóþòñÿ íà ïîâåðõíîñòè ïîñëå îáðàáîòêè â âîäíûõ ðàñòâîðàõ, ñîäåðæàùèõ äèññîöèèðîâàííûå íà èî íû ñîåäèíå íèÿ. Òàê, øèðîêî ïðèìåíÿåìûå ðàñòâîðû ïëàâèêîâîé êèñëîòû è ùåëî÷åé ìîãóò çàãðÿçíÿòü ïîâåðõíîñòü èîíàìè ôòîðà, ãàëèÿ, íàòðèÿ. Èîííûå çàãðÿçíåíèÿ ìîãóò òàêæå âîçíèêàòü íà ïîâåòõ íîñòè â ðåçóëüòàòå ïîïàäàíèÿ ïðîäóêòîâ äûõàíèÿ, ïîòà (õëîðèä íàòðèÿ).
Àòîìíûå çàãðÿçíåíèÿ-ýòî àòîìû òÿæåëûõ ìåòàëëîâ (çîëîòà, ñåðåáðà, ìåäè, îëîâà), êîòîðûå ÷àùå âñåãî îñòàþòñÿ íà ïëàñòèíàõ â ðåçóëüòàòå âîññòàíîâëåíèÿ èç ðàñòâîðîâ. Ìåòàëëû ìîãóò òàêæå âíîñèòüñÿ ïîðîøêàìè è îòõîäàìè ìàøèííîé îáðàáîòêè, ïèíöåòàìè, ÷àñòèöàìè ìåòàëëè÷åñêèõ áàíîê äëÿ õðàíåíèÿ è äð.
Íàèáîëåå ðàñïðîñòðàíåííûìè ñïîñîáàìè óäàëåíèÿ çàãðÿçíåíèé ÿâëÿþòñÿ: ðàñòâîðåíèå çàãðÿçíåíèé â âåùåñòâå; ïðåâðàùåíèå çàãðÿçíåíèé â ðàñòâîðèìûå ïðîäóêòû â ðåçóëüòàòå õèìè÷åñêîé ðåàêöèè è ïîñëåäóþùèé èõ ñìûâ; ìåõàíè÷åñêàÿ î÷èñòêà ïîòîêîì æèäêîñòè ¸èëè ãàçà; ãàçîïëàçìåííîå òðàâëåíèå.
Òâåðäûå ÷àñòèöû, îñåäàþùèå íà ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí, ïîñëå ðåçêè, øëèôîâàíèÿ, ñêðàéáèðîâàíèÿ óäàëÿþò ìÿãêèìè êèñòÿìè ñ ïîìîùüþ ìîþùèõ ñðåäñòâ. Òàêîé ñïîñîá î÷èñòêè íàçûâàåòñÿ ñêðóááèðîâàíèåì. Êèñòè èçãîòîâëÿþò èç áåëè÷üåãî èëè êîëîíêîâîãî ìåõà, ìîõåðà, íåéëîíà è äð. Ïðîöåññ ñêðóááèðîâàíèÿ ïðîèñõîäèò ñëåäóþùèì îáðàçîì. Íà âðàùàþùèéñÿ ðàáî÷èé ñòîë ïîìåùàþò êàññåòó ñ ïëàñòèíàìè, ïîäàþò äåèîíèçîâàííóþ âîäó è ùåòêàìè íà÷èíàþò îáðàáàòûâàòü ïîâåðõíîñòü ïëàñòèí. Çàòåì ïîäàþò âîäó ñ äîáàâëåíèåì ìîþùåãî âåùåñòâà, ñïîñîáñòâóþùåãî îòäåëåíèþ îò ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí òâåðäûõ ÷àñòèö. Ïîñëå îáðàáîòêè ðàñòâîðîì ìîþùåãî âåùåñòâà ñíîâà îòìûâàþò ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí äåèîíèçîâàííîé âîäîé è ñóøàò ïëàñòèíû öåíòðèôóãèðîâàíèåì.
Íåäîñòàòîê ñêðóááèðîâàíèÿ çàêëþ÷àåòñÿ â òîì, ÷òî ùåòêè íå ìîãóò ïðîíèêàòü â óãëóáëåíèÿ è íåðîâíîñòè ìèêðîííûõ ðàçìåðîâ. Ïîýòîìó íàèáîëüøåå ðàñïðîñòðàíåíèå ïîëó÷èë ñïîñîá î÷èñòêè, ñî÷åòàþùèé îòìûâêó êèñòÿìè è ïðîìûâêó ñòðóåé ðàñòâîðèòåëÿ èëè äåèîíèçîâàííîé âîäû. Äàâëåíèå æèäêîñòè â ñòðóå ðåãóëèðóåòñÿ è äîñòèãàåò 3 *10 7 Ïà.
Îðãàíè÷åñêèå ïëåíêè ñ ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí óäàëÿþò ñ ïîìîùüþ îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé: òðèõëîðýòèëåíà, õëîðèñòîãî ìåòèëåíà, õëàäîíà, òîëóîëà, êñèëîëà, ìåòèëîâîãî, ýòèëîâîãî èëè èçîïðîïèëîâîãî ñïèðòà, àöåòîíà, óàéò- ñïèðèòà è äð. Ïëàñòèíû îáðàáàòûâàþò â æèäêîì ðàñòâîðèòåëå ëèáî â åãî ïàðàõ. Âîçìîæíî òàêæå ñî÷åòàíèå ïàðîâîé è æèäêîñòíîé îáðàáîòîê. ×àñòî ðàñòâîðèòåëü äîâîäÿò äî êèïåíèÿ, ïîñëå ÷åãî ïðîèçâîäÿò î÷èñòêó. Øèðîêî èñïîëüçóþò óëüòðàçâóêîâóþ î÷èñòêó ïëàñòèí â îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëÿõ. Ïðè òàêîì ñïîñîáå î÷èñòêè â âàííó ñ ðàñòâîðèòåëåì ïîìåùàþò èçëó÷àòåëè óëüòðàçâóêîâûõ êîëåáàíèé, ïîä äåéñòâèåì êîòîðûõ â æèäêîñòÿõ îáðàçóþòñÿ ìåëü÷àéøèå ïóçûðüêè, îáëàäàþùèå âûñîêîé ïðîíèêàþùåé ñïîñîáíîñòüþ è ñïîñîáñòâóþùèå îòäåëåíèþ çàãðÿçíåíèé îò ïîâåðõíîñòè.
Ââèäó òîêñè÷íîñòè îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé øèðîêîå ïðèìåíåíèå íàõîäÿò âîäíûå ìîþùèå ðàñòâîðû. Ðàñòâîðûùåëî÷åé ðàçëàãàþò ðàñòèòåëüíûå è æèâîòíûå æèðû ïðè 80-100°Ñ, ïðè÷åì ïðîäóêòû ðàçëîæåíèÿ ëåãêî ðàñòâîðÿþòñÿ è ñìûâàþòñÿ âîäîé. Ìèíåðàëüíûå ìàñëà óäàëÿþò 0.5-1.0 %-íûìè ðàñòâîðàìè ïîâåðõîñòíî-àêòèâíûõ âåùåñòâ.
Àòîìíûå è èîííûå çàãðÿçíåíèÿ, êàê ïðàâèëî, óäàëÿþò ïðîìûâêîé â êèñëîòàõ è äåèîíèçîâàííîé âîäå. Ïðîììâêà â êèñëîòàõ ïîçâîëÿåò óäàëèòü àäñîðáèðîâàííûå èîíû ìåòàëëîâ è ðàñòâîðèòü îêñèäíûå ïëåíêè íà ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâ. ×àùå âñåãî èñïîëüçóþò àçîòíóþ, ïëàâèêîâóþ, ñåðíóþ, ñîëÿíóþ, óêñóñíóþ è ôîñôîðíóþ êèñëîòû. Ïðîöåññ îòìûâêè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí äåèîíèçîâàííîé âîäîé âåäóò, ïîñòîÿííî èçìåðÿÿ ýëåêòðè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå âîäû. Ïî ìåðå ñíèæåíèÿ êîíöåíòðàöèè ïðèìåñåé ñîïðîòèâëåíèå âîäû ïîñòåïåííî ïîâûøàåòñÿ. Ïðè óñòàíîâëåíèè ïîñòîÿííîãî ñîïðîòèâëåíèÿ âîäû ïðîöåññ îòìûâêè ñ÷èòàåòñÿ çàêîí÷åííûì.
Êðîìå êèñëîò äëÿ óäàëåíèÿ èîííûõ çàãðÿçíåíèé èñïîëüçóþò âîäíûå ðàñòâîðû, ñîäåðæàùèå ïåðåêèñü âîäîðîäà è àììèàê. Îáðàáîòêó òàêèìè ðàñòâîðàìè âåäóò â òå÷åíèå 10-20 ìèí ïðè 75- 80 Ñ.
Ïîñëå îòìûâêè ïëàñòèí â æèäêîñòè èõ íåîáõîäèìî ïðîñóøèòü. Îáû÷íî ïîñëå îáðàáîòêè â âîäíûõ ðàñòâîðàõ ïëàñòèíû îáðàáàòûâàþò â îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëÿõ, êîòîðûå ëåã÷å è íàäåæíåå î÷èùàþòñÿ îò ïðèìåñåé, ÷åì âîäà. Ïîýòîìó ñóøêó ëó÷øå ïðîèçâîäèòü ïîñëå ôèíèøíîé îòìûâêè, íàïðèìåð, â àöåòîíå èëè ýòèëîâîì ñïèðòå. Ñóøêó íàãðåâîì â òåðìîñòàòàõ èëè ïîä èíôðàêðàñíûìè ëàìïàìè ïðèìåíÿþò â òîì ñëó÷àå, êîãäà ê ïîâåðõíîñòè ïðåäúÿâëÿþò ñðàâíèòåëüíî íèçêèå òðåáîâàíèÿ, òàê êàê ïðè èñïàðåíèè ñ ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí íà íèõ îñòàþòñÿ ðàñòâîðåííûå â ïëåíêå æèäêîñòè ïðèìåñè. Áîëåå êà÷åñòâåííóþ ñóøêó ïëàñòèí ïðîèçâîäÿò öåíòðèôóãèðîâàíèåì èëè îáäóâîì ãîðÿ÷èì î÷èùåííûì ãàçîì.  ýòèõ ñëó÷àÿõ çíà÷èòåëüíàÿ ÷àñòü æèäêîñòè ñäóâàåòñÿ ñ ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí âìåñòå ñ ðàñòâîðåííûìè â íåé ïðèìåñÿìè.
Ïëàçìåííîå òðàâëåíèå, îòíîñÿùååñÿ ê òàê íàçûâàåìûì “ñóõèì” cïîñîáàì î÷èñòêè, ïðîâîäÿò ÷àùå âñåãî â ïëàçìå êèñëîðîäà, êîòîðàÿ ïåðåâîäèò ïîâåðõíîñòíûå çàãðÿçíåíèÿ â ëåòó÷èå êîìïîíåíòû.
Âàæíîé ÿâëÿåòñÿ îïåðàöèÿ êîíòðîëÿ ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí, ïîñêîëüêó òîëüêî îíà ìîæåò ïîêàçàòü, íàñêîëüêî ýôôåêòèâíû ïðîöåññû î÷èñòêè è ïðèãîäíû î÷èùåííûå ïëàñòèíû ê ïåðåäà÷å äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ.
Îñíîâíûìè ìåòîäàìè êîíòðîëÿ ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè ÿâëÿþòñÿ: ìåòîäû, îñíîâàííûå íà èçìåíåíèè åå ñìà÷èâàåìîñòè, ìèêðîñêîïè÷åñêèå, ôîòîìåòðè÷åñêèå è ñïåêòðàëüíûå.
Ïðè îêóíàíèè ïëàñòèíû â äåèîíèçîâàííóþâîäó èëè ðàñïûëåíèè âîäû íà âëàæíóþ ïîâåðõíîñòü ïëàñòèíû íà çàãðÿçíåííûõ ó÷àñòêàõ íå îáðàçóåòñÿ ðàâíîìåðíîãî ñëîÿ âîäû. Ìåòîäû, îñíîâàííûå íà èçìåíåíèè ñìà÷èâàåìîñòè, ïðîñòû, íàãëÿäíû, íî íåäîñòàòî÷íî ÷óâñòâèòåëüíû.
Ìèêðîñêîïè÷åñêèå ìåòîäû îñíîâàíû íà íàáëþäåíèè ïîâåðõíîñòè â ñâåòëîì èëè òåìíîì ïîëå îïòè÷åñêîãî ìèêðîñêîïà, à òàêæå ñ ïîìîùüþ ýëåêòðîííîãî ìèêðîñêîïà. Ïðè íàáëþäåíèè â òåìíîì ïîëå èñïîëüçóåòñÿ êîñîå îñâåùåíèå, èñêëþ÷àþùåå ïîïàäàíèå â îáúåêòèâ çåðêàëüíî îòðàæåííûõ îò ïîâåðõíîñòè ëó÷åé.  ýòîì ñëó÷àå âûÿâëÿþòñÿ îñòàòêè îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé, êîòîðûå îáðàçóþò õàðàêòåðíûå óçîðû. óçîðû. Çàãðÿçíåíèÿ è äåôåêòû íà ïîâåðõíîñòè ïîëèðîâàííûõ ïëàñòèí àñòèí íàáëþäàþòñÿ â âèäå ñâåòÿùèõñÿ òî÷åê. Èõ ïîäñ÷åò íà åäèíèöå ïëîùàäè ïëàñòèíû âåäóò ïðè óâåëè÷åíèè â 50-400 ðàç.
Ôîòîìåòðè÷åñêèå, ñïåêòðàëüíûå, à òàêæå äðóãèå ìåòîäû êîíòðîëÿ- ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí â ïðîéûøëåííîñòè øèðîêîãî ðàñïðîñòðàíåíèÿ íå ïîëó÷èëè. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ òðåáóåìîé ÷èñòîòû ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí (êðîìå ïðîöåññîâ î÷èñòêè) â ìàñøòàáàõ ïðåäïðèÿòèÿ îñóùåñòâëÿåòñÿ öåëûé ðÿä îðãàíèçàöèîííûõ è ñàíèòàðíî-ãèãèåíè÷åñêèõ ìåðîïðèÿòèé. Îáÿçàòåëüíûì óñëîâèåì ïîëó÷åíèÿ êà÷åñòâåííûõ ïëàñòèí ÿâëÿåòñÿ ïðîâåäåíèå êàæäîé îïåðàöèè íà èçîëèðîâàíííûõ äðóã îò äðóãà ïðîèçâîäñòâåííûõ ó÷àñòêàõ. Ýòî èñêëþ÷àåò ïîïàäàíèå áîëåå êðóïíûõ àáðàçèâîâ ñ îïåðàöèé ãðóáûõ ïðåäâàðèòåëüíûõ îáðàáîòîê â ïîìåùåíèÿ, ãäå îñóùåñòâëÿåòñÿ äîâîäêà. Öåëåñëëáðàçíî òàêæå âíóòðè ó÷àñòêà çàêðåïëÿòü êîíêðåòíîå îáîðóäîâàíèå çà îïåðàöèÿìè, îòëè÷àþùèìèñÿ ñîñòàâîì èñïîëüçóåìûõ ñóñïåíçèé.
Ó÷àñòêè ïî èçãîòîâëåíèþ ïëàñòèí ðàñïîëàãàþòñÿ â ïîìåùåíèÿõ, îòâå÷àþùèõ òðåáîâàíèÿì ïåðâîé êàòåãîðèè âàêóóìíîé ãèãèåíû, ñîãëàñíî êîòîðûì â 1 ë âîçäóõà íå äîïóñêàåòñÿ ïðèñóòñòâèå áîëåå 70 ÷àñòèö êðóïíåå 1 ìêì.  ýòèõ ïîìåùåíèÿõ ñîçäàþò çàùèòíûå ãîðèçîíòàëüíûå ëàìèíàðíûå ïîòîêè î÷èùåííîãî âîçäóõà, êîòîðûå ïðåïÿòñòâóþò ïîïàäàíèþ èíîðîäíûõ ÷àñòèö â ðàáî÷èå çîíû îáîðóäîâàíèÿ  êà÷åñòâå äîïîëíèòåëüíîé ìåðû, ïðåïÿòñòâóþùåé ïîïàäàíèþ ÷àñòèö, èç âîçäóõà íà ïîëèðîâàëüíèêè ñòàíêîâ ôèíèøíîãî è ñóïåðôèíèøíîãî ïîëèðîâàíèÿ, óñòàíàâëèâàþò ñïåöèàëüíûå çàùèòíûå êîëïàêè èç ïðîçðà÷íîãî ïëàñòèêà. Ðàáî÷èé ïåðñîíàë ýòèõ ó÷àñòêîâ îáåñïå÷èâàåòñÿ ñïåöîäåæäîé è ñïåöîáóâüþ, ñîçäàþùåé ìèíèìàëüíîå êîëè÷åñòâî çàãðÿçíåíèé. Êðîìå òîãî, îãðàíè÷èâàåòñÿ èñïîëüçîâàíèå ðàáîòíèêàìè êîñìåòè÷åñêèõ ñðåäñòâ.
29-04-2015, 04:08