3. Физика и технология источников ионов. Я. Браун, Москва, Мир 1998г, 420 стр.
4. Обзоры по электронной технике. «Реактивное ионное травление», выпуск 1 (1010) 1984 г.
5. Технология материалов электронной техники, В.В. Крапухин, И.А. Соколов, Г.Д. Кузнецов, Москва МИСИС, 490 стр. 1995 г.
29-04-2015, 04:03